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ビームプロファイルモニター
Beam Profile Monitor
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X,Z,回転位置決めが可能なビーム照射試料ステージに、ビームプロファイルを行う機器を組み込んだ製品です。
仕様一覧
外形寸法 mm
φ625-H480
X軸ストローク mm
25
Z軸ストローク mm
120
回転角度
360°
ビーム測定チャンネル数
小9 + 大1
試料ステージ温度調節
PID温度調節制御あり
通常納期
約4ヶ月
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