超高真空ステッピングモーターUltra-High Vacuum Stepper Motor
1x10-8Paの超高真空(UHV)に対応した2相ステッピングモーター。
200℃ベーキング可能、動作温度-196~+175℃、熱電対内蔵でモーター温度が測定可能です。
仕様一覧
型番 D35.1 D42.1 D42.2 D42.3 D57.1
外形寸法 mm □35-L27 □42-L35 □42-L49 □42-L61 □56-L55
励磁最大静止トルク Nm 0.07 0.18 0.36 0.45 0.8
ディテントトルク Nm 0.008 0.008 0.014 0.02 0.03
ローター慣性モーメント kg・m2 10 x10-7 35 x10-7 68 x10-7 102 x10-7 300 x10-7
許容スラスト荷重 kgf 9 9 9 9 20
許容オーバーハング荷重 kgf 15 15 15 15 60
質量 kg 0.19 0.35 0.47 0.61 0.7
定格電流 A/相 1.0 1.0 1.0 1.0 1.0
巻線抵抗(20℃) Ω/相 4.7 5.3 6.8 8.5 10.5
インダクタンス mH 3.8 6.6 10.5 19.5 27
参考到達圧力 1x10^-8Pa
動作温度範囲 -65℃ ~ +175℃
ベーキング可能温度 200℃
基本ステップ角 1.8° (2相)
静止角度誤差 0.09°
モーターリード線長さ 1.5m
温度測定機能 内蔵K型熱電対
使用ベアリング 開放型ステンレスベアリング
使用グリース NyeTorr®6300 超高真空グリース
オプション一覧
H 窒化ケイ素セラミックボールと二硫化モリブデン固体潤滑のハイブリッドセラミックベアリング仕様
R 耐放射線仕様 1x10^7 Gy
X 図面指示による軸形状変更
C 低温仕様 動作温度-196℃~+175℃
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・計測資料 (提供:兵庫県立大学高度産業科学技術研究所)


製造元
Arun Microelectronics Ltd.

通常納期
約2週間