加速管Acceleration Tube
電子・イオンビームの安定した高電場加速が可能な加速管です。
イオンビームの微細収束による試料のナノ加工や表面分析等に使用できます。
高電圧大電流加速や、アンペア級のパルスビームにも対応できます。
イオンビームの微細収束による試料のナノ加工や表面分析等に使用できます。
高電圧大電流加速や、アンペア級のパルスビームにも対応できます。
型番 | ACT150K-ALO | ACT200K-ALO | ACT1000K-ALO |
---|---|---|---|
加速管部分長さ(約) | 100mm | 150mm | 500mm |
印加電圧 | 150kV | 200kV | 1MV |
絶縁材 | アルミナ | ||
ベーキング可能温度 | 250℃ | ||
加速粒子 | 水素 ヘリウム 電子 |
水素 ヘリウム 電子 |
水素 ヘリウム 電子 その他軽イオン |
加速管軸平均電界強度 | 2MV/m |
型番 | ACT300K-PE | ACT500K-PE |
---|---|---|
加速管部分長さ(約) | 100mm | 250mm |
印加電圧 | 300kV | 500kV |
絶縁材 | ポリエチレン | |
ベーキング可能温度 | - | |
加速粒子 | 水素 ヘリウム 電子 その他軽イオン |
|
加速管軸平均電界強度 | 3MV/m | 2MV/m |
通常納期
-