加速管Acceleration Tube
電子・イオンビームの安定した高電場加速が可能な加速管です。
イオンビームの微細収束による試料のナノ加工や表面分析等に使用できます。
高電圧大電流加速や、アンペア級のパルスビームにも対応できます。
仕様一覧 1
型番 ACT150K-ALO ACT200K-ALO ACT1000K-ALO
加速管部分長さ(約) 100mm 150mm 500mm
印加電圧 150kV 200kV 1MV
絶縁材 アルミナ
ベーキング可能温度 250℃
加速粒子 水素
ヘリウム
電子
水素
ヘリウム
電子
水素
ヘリウム
電子
その他軽イオン
加速管軸平均電界強度 2MV/m
仕様一覧 2
型番 ACT300K-PE ACT500K-PE
加速管部分長さ(約) 100mm 250mm
印加電圧 300kV 500kV
絶縁材 ポリエチレン
ベーキング可能温度 -
加速粒子 水素
ヘリウム
電子
その他軽イオン
加速管軸平均電界強度 3MV/m 2MV/m

通常納期
-