電子線照射機 ガラスや高分子フィルム等の表面改質、耐熱性や強度向上・膜平滑化等が可能な電子銃。食品包装・ペットボトル等の滅菌も可能。

真空内設置電子銃 真空内用電子銃。真空ロー付け、蒸着、溶融やイオンビーム照射誘電体ターゲットの表面電荷中和等が可能。

真空加熱電子銃 金属の真空溶解、熱処理が可能な電子銃。

電子ビーム溶接機 集束した電子ビームを金属に直接当てることで溶接が可能。高融点金属を溶接でき、酸化や汚れが少なく、真空封止も可能。ビームパルス化で難溶接材料の溶接品質が向上します。

反射高速電子回折装置 真空中に置かれた固体の結晶表面や成膜過程で成長しつつある表面原子の配列をリアルタイムに観察する、RHEEDと呼ばれる装置。

イオン源 イオン注入、スパッタ、エッチング等に使用するイオン発生機器。