集束した電子ビームを金属に直接当てることで溶接が可能です。
高密度エネルギーのため、タングステン・タンタル・モリブデン等の高融点金属を溶接できます。
真空中で溶接するため、酸化や汚れが少なく、真空封止も可能。
ビームをパルス化することで、難溶接材料を均質かつ欠陥や熱歪の少ない溶接が可能、さらに穴あけ加工も可能です。

仕様一覧 1

型番	EBW50K-20D	EBW100K-30D
出力モード	DC	DC
最大出力	1kW (50kV x 20mA)	3kW (100kV x 30mA)
使用環境圧力	2x10^-3Pa以下
取付フランジ	VF200以上
所要設備	電気100V x 10kVA 水10l/m 空気0.4MPa	電気200V x 30kVA 水20l/m 空気0.4MPa

仕様一覧 2

型番	EBW50K-20P	EBW100K-30P	EBW50K-20XP
出力モード	DC,パルス	DC,パルス	DC,パルス,重畳パルス
最大出力	1kW (50kV x 20mA)	3kW (100kV x 30mA)	1kW (50kV x 20mA)
パルス波形	矩形波(フラットトップ)	矩形波(フラットトップ)	矩形波(フラットトップ) 減衰波(擬似鋸歯状波) 重畳波
ビーム径	0.2mm	0.2mm	0.3mm
10-90% 立上り/立下り時間	1μs以下
パルス幅	10μs～10ms	10μs～10ms	1ms～10ms
使用環境圧力	2x10^-3Pa以下
取付フランジ	VF200以上
所要設備	電気100V x 10kVA 水10l/m 空気0.4MPa	電気200V x 30kVA 水20l/m 空気0.4MPa	電気100V x 10kVA 水10l/m 空気0.4MPa

・40kV x 20mA x 5μsパルス波形

・40kV x 20mA x 50μsパルス波形

・重畳パルス波形
（パルス電子ビームの各波列にさらにパルス変調をかけた時の波形）