真空中に置かれた固体の結晶表面や成膜過程で成長しつつある表面原子の配列をリアルタイムに観察する、RHEEDと呼ばれる装置です。
軸合わせは真空を破らずに行うことが可能です。
新規開発したベローズを介在させない軸合わせ機構により、電子銃本体はコンパクトで取付自由度が上がり、明るいビームが得られるようになりました。

仕様一覧

型番	RHG-3600	RHG-3600D
本体長さ	200mm	244mm
使用環境圧力	1x10^-3Pa以下	1Pa以下
加速電圧	30kV
XY最大偏向角	±5°
ビーム径 (取付フランジ後方400mm位置)	0.2mm
ベーキング可能温度	200℃
取付フランジ	ICF70

※差動排気型RHG-3600DはTMPを取付けることで、低真空下の成膜中を観察できます。