真空機器Device and Mechatronics of the Vacuum
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超高真空ステッピングモーター
1x10-8Paの超高真空用モーター。200℃ベーキング可能、動作温度-196~+175℃、熱電対内蔵でモーター温度測定可能。
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超高真空XYZステージ
超高真空ステッピングモーター等の超高真空部品を使用したXYZステージ。
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ビームストッパー
真空中でブロックを制御してビームを整形する4軸のビームストッパー。
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真空樹脂注入装置
真空内でXYZ位置決めをして、目的箇所に気泡のない樹脂を注入できます。
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ビームプロファイルモニター
X,Z,回転位置決めが可能なステージと、ビームプロファイルを行う機器。