超高真空ステッピングモーター 1x10-8Paの超高真空用モーター。200℃ベーキング可能、動作温度-196～+175℃、熱電対内蔵でモーター温度測定可能。

超高真空XYZステージ 超高真空ステッピングモーター等の超高真空部品を使用したXYZステージ。

ビームストッパー 真空中でブロックを制御してビームを整形する4軸のビームストッパー。

真空樹脂注入装置 真空内でXYZ位置決めをして、目的箇所に気泡のない樹脂を注入できます。

ビームプロファイルモニター X,Z,回転位置決めが可能なステージと、ビームプロファイルを行う機器。