イオン注入、スパッタ、エッチング等に使用するイオン発生機器です。

デュオプラズマトロン

高輝度の水素およびヘリウムイオンビームを生成するイオン源。
加速器等へのイオン源に適しています。
小径ビーム直接引出型負イオン源、中性ビーム源にも使用可能です。

型番	IBG-DUP1P	IBG-DUP1N
出力	原子状水素イオン300μA He1価イオン600μA He2価イオン10μA	水素負イオン10μA フッ素負イオン5μA

トリプラズマトロン

デュオプラズマトロンのプラズマ膨張室に副室を設けて腐食性ガスを導入し、ペニング電離によって腐食性ガス正イオンビームを生成します。

型番	IBG-TRP
出力	窒素イオン10μA 酸素イオン5μA

冷陰極PIG

小型、堅牢で長寿命なPIGイオン源。
パルスビーム生成に使用した場合、極めて高速で再現性のよいビームの取り出しが可能です。

仕様一覧

型番	IBG-PIG1	IBS-PIG3	IBM-PIG1
ビーム電流	水素イオン10μA Heイオン10μA	-	Niイオン5μA Alイオン0.5μA Cuイオン0.5μA
アノード電圧 x 電流	-	3kV x 3mA	-
放電ガス種類	-	水素、ヘリウム、アルゴン	-
用途	細径で輝度の大きい軽イオンビーム	アノードプラズマジェットを直接試料に当ててスパッタやエッチングを行う	イオン注入等の金属イオンビーム

パルスイオン源　仕様一覧

型番	IBG-PIG1P	IBG-PIG100P
イオン種類	水素、ヘリウム	水素、ヘリウム
パルス波頭電流値	1mA	100mA
パルス波形	矩形	矩形
10-90%立上り/立下り時間	200ns	1μs
最小パルス幅	2μs	10μs
繰返し周波数	10Hz～10kHz	10Hz～1kHz