ガラスや高分子フィルム等の表面改質、耐熱性や強度向上・膜平滑化等が可能な電子銃。
食品包装等の滅菌にも使用できます。

仕様一覧 1

型番	EBI20K-F100D	EBI1K-F1D	EBI3K-F2D	EBI20K-F2D
出力モード	DC	DC	DC	DC
最大出力	2kW (20kV x 100mA)	1W (1kV x 1mA)	6W (3kV x 2mA)	40W (20kV x 2mA)
スキャン方向	独立X,Y	独立X,Y	独立X,Y	独立X,Y
スキャン波形	三角波 鋸歯状波	三角波 鋸歯状波	三角波 鋸歯状波	三角波 鋸歯状波
スキャン角度	±5°	±5°	±5°	±5°
最大スキャン周波数	三角波1kHz 鋸歯状波50Hz	三角波1kHz 鋸歯状波100Hz	三角波1kHz 鋸歯状波100Hz	三角波1kHz 鋸歯状波50Hz
XY最大偏向角	±3°	±3°	±3°	±3°
ビーム径 (取付フランジ後方150mm位置)	5mm以下	2mm以下	1mm以下	0.5mm以下
使用環境圧力	5x10^-4Pa以下	2x10^-4Pa以下	2x10^-4Pa以下	2x10^-4Pa以下
ベーキング可能温度	-	200℃	200℃	200℃
取付フランジ	ICF70以上

仕様一覧 2

型番	EBI20K-F40P	EBI30K-S3P
出力モード	DC,パルス	DC,パルス
最大出力	800W (20kV x 40mA)	90W (30kV x 3mA)
パルス波形	矩形波(フラットトップ)	矩形波(フラットトップ)
XY最大偏向角	±3°	-
ビーム径 (取付フランジ後方150mm位置)	5mm以下	矩形(線状)※ 幅100mm以下 高さ1mm以上
10-90%立上り/立下り時間	1μs以下	1μs以下
使用環境圧力	1x10^-3Pa以下	1x10^-3Pa以下
取付フランジ	ICF70以上	-

※EBI30K-S3Pは矩形ビームの一辺を矩形レンズで絞り、太さ可変の線状ビームを生成します。

真空封止型

真空排気ポンプが不要なため、コンパクトで持ち運びが容易です。
特別製作品になります。

仕様一覧（例）

型番	EBI130K-V0.5D	EBI230K-V0.5D
出力モード	DC	DC
最大出力	65W (130kV x 0.5mA)	115W (230kV x 0.5mA)
スキャン方向	X or Y	X or Y
スキャン波形	三角波	三角波
最大スキャン周波数	三角波100Hz	三角波100Hz
Ti箔電子線透過部ビーム径	20mm以下	20mm以下
使用環境圧力	1atm	1atm