金属の真空溶解、熱処理が可能な電子銃です。

仕様一覧

型番	EBH30K-F500D
出力モード	DC
最大出力	15kW (30kV x 500mA)
スキャン方向	独立XY
スキャン波形	三角波
スキャン角度	±3°
最大スキャン周波数	三角波100Hz
XY最大偏向角	±3°
ビーム径 (取付フランジ後方400mm位置)	3mm以下
使用環境圧力	2x10^-3Pa以下
ベーキング可能温度	180℃
取付フランジ	ICF152以上